cs200h气体质量流量控制是七星流量计生产的数字型高温产品，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。
cs200h质量流量控制器&流量计 产品详情
优势
• 控制器工作温度：90~120℃。
• 高控制精度：产品精度可达±1.0% s.p.(≥35%f.s.)。
• 快速响应，响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316lvv，cs200产品金属表面粗糙度更可达10ra以下，严格按照semi标准生产制造。
• 支持±8v~±16v双电源, +14v~+28v单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品尺寸符合通用的semi标准，rs485，devicenet通讯方式。
技术参数
cs200
型号
cs200-h
阀类型
常闭
无
流量规格(n2)
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
(0～1,2,3,5,10,20,30) slm
准确度
±1.0% s.p. (≥35% f.s.)
±0.35%f.s.(＜35% f.s.)
线性
±0.5% f.s.
重复精度
±0.2% f.s.
响应时间
≤ 1sec
工作压差范围
0.05～0.35mpa 流量规格≤10slm
0.1～0.35mpa 流量规格＞10slm
＜0.02 mpa
工作压力
0.45mpa
温度系数
零点: ≤±0.1% f.s./℃；调节时: ≤±0.1% f.s./℃
耐压强度
3mpa
漏率
1×10-11pa·m3/ sec he
密封材料
金属密封
工作环境温度
质量流量控制器/流量计:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃
输入信号
数字: rs485 或 devicenet
模拟:(0～5)vdc或(4～20)ma
无
输出信号
数字:rs485或 devicenet
模拟:(0～5)vdc或(4～20)ma
零漂
在没有零点校正时＜0.6%f.s./年
电源
±8 ～±16 vdc (双极)或 +14 ～+28 vdc (单极)
表面化学成分
cr/fe比例 ≥2.0, cro 厚度 ≥20 （埃）
表面粗糙度
10 ra
标准接头形式
双卡套φ6；双卡套1/4；vcr1/4阳接头；1.5´´c型密封接头
1.5´´w型密封接头
电源接头形式
d型9针阳接头；d型15针阳接头；devicenet接头
连接高温电缆
2m
重量
1.2kg
1kg
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