上海辰荣电炉有限公司在多年的制造真空炉经验及跟踪用户使用情况的过程中，总结出一些经验。真空泄漏故障维修的关键，是看能否准确地判断出故障点（泄漏点）。真空度抽不上去的原因可能有多个，也许真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏高，又或为两者皆有，抽真空时间相同而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的泄漏上，或是扩散泵油污染、氧化了，或是前级管路密封不好，泵油不足，或是泵油乳化，轴封漏油等。根据以往真空设备的维修经验，设备真空度在短时间内迅速下降，一般由炉盖、板阀、碟阀等动态密封件老化、划伤及氧化皮脱落至密封线上所致。可以通过清理更换密封件，手动开关阀门检修或氦质谱检漏仪检漏，如没有氦质谱检漏仪，用真空计检漏法:使用酒精等易挥发液体涂在可能泄漏的地方,如泄漏则酒精渗入并挥发,影响内部真空,如真空计读数有变化,则表明该处泄漏。通过酒精检漏法等观察真空度变化，仔细查找漏点。另外密封件容易老化。当密封件老化或碳化降低或失去弹性时，冷态真空度必然下降。

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